尺寸：96×96mm。
本體：端子臺(tái)型，溫度輸入型。
種類：控制輸出1點(diǎn)型（電源AC100～240V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：繼電器輸出。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)或加熱冷卻E5EC-CX4DSM-000解決方案指南手冊(cè)。
輔助輸出點(diǎn)數(shù)：3點(diǎn)。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流檢測(cè)功能/ES1B用電源：ES1B用電源E5EC-CX4DSM-000
事件輸入點(diǎn)數(shù)：2點(diǎn)。
傳送輸出：--。
通信：--。
96mm、48×96mm見方的通用溫控器已升級(jí)＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預(yù)防維護(hù)功能，性能進(jìn)一步提升。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)
（自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP、報(bào)警發(fā)生），可交互顯示PV/SV。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計(jì)數(shù)功能，可預(yù)防維護(hù)溫控器內(nèi)部繼電器E5EC-CX4DSM-000解決方案指南手冊(cè)。
增加了3段顯示，可同時(shí)顯示易于理解的當(dāng)前值/目標(biāo)值/操作量。
增加了PF鍵，分配自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP等，可實(shí)現(xiàn)一鍵操作。晶圓片托架的落座檢測(cè)。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂。
獨(dú)有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測(cè)所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。種類：端子臺(tái)型，溫度輸入型。
本體：控制輸出1點(diǎn)型（電源AC100～240V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：電壓輸出（SSR驅(qū)動(dòng)用）。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)。
輔助輸出點(diǎn)數(shù)：--。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流升級(jí)＆功能/性能提升E5EC-CX4DSM-000解決方案指南手冊(cè)。
指示精度提升、增加了預(yù)防維護(hù)功能，性能進(jìn)一步提升
提供端子臺(tái)型和無螺釘夾具端子臺(tái)型。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)
（自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP、報(bào)警發(fā)生），可交互顯示PV/SV。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計(jì)數(shù)功能，
可預(yù)防維護(hù)溫控器內(nèi)部繼電器。
3種顏色顯示切換當(dāng)前值（PV）。
適用支持軟件（CX-Thermo-Ver.4.2以上）。
可11段數(shù)字顯示。
提供報(bào)警輸出1點(diǎn)型和2點(diǎn)型。端子部形狀:導(dǎo)線直出型。
保護(hù)管直徑D:φ3.2mm。
保護(hù)管長(zhǎng)度L：15ccmE5EC-CX4DSM-000手冊(cè)。
導(dǎo)線種類：耐熱用。
品種豐富的高精度溫度傳感器系列。
在以以往的M3螺釘對(duì)應(yīng)品的基礎(chǔ)上，
追加有助于降低配線工時(shí)的棒狀端子對(duì)應(yīng)品E5EC-CX4DSM-000手冊(cè)。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應(yīng)部件。
可根據(jù)要測(cè)量的溫度、場(chǎng)所、 周圍環(huán)境選擇。
備有種類、形狀、 長(zhǎng)度及端子部形狀各異的產(chǎn)品。